特許
J-GLOBAL ID：200903092056077062
表面に微細な突起を形成させたセラミックス部材、及びその製造方法
出願人/特許権者：
東芝セラミックス株式会社
東芝セラミックス株式会社 について
代理人 (1件)： 松山 允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-033102
公開番号（公開出願番号）：特開2002-241187
出願日： 2001年02月09日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：
【要約】【課題】 ガス放出性が抑制・防止されながら、一方では、表面に付着・堆積する異種物に対してすぐれたアンカー効果を呈し、薄膜形成装置において用いた場合、異物質粒子の剥離の生じがたいセラミックス部材、及びその製造方法の提供。【解決手段】 この発明のセラミックス部材は、純度が95重量%以上の緻密質セラミックス基材の表面またはその近傍を構成する結晶粒子の表面に、その結晶粒子径より小さい径の複数の突起部が形成されているセラミックス部材である。このような、セラミックス部材は、純度が95重量%以上で、理論密度の90%を超える緻密質セラミックス基材の表面を酸性エッチング液中で侵食処理することにより、基材の表面またはその近傍に存在するセラミックス粒子の表面に複数の突起状部分を形成することによって製造することができる。
請求項（抜粋）：
純度が95重量%以上の緻密質セラミックス基材の表面またはその近傍を構成する結晶粒子の表面に、その結晶粒子径よりも小さい径の複数の突起部が形成されていることを特徴とするセラミックス部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
引用特許：
出願人引用 (4件)
-
特開昭61-251589
-
特開昭63-035482
-
表面導電性窒化アルミニウム基体およびその製造方法
公報種別：公開公報 出願番号：特願平5-284671 出願人：株式会社東芝
前のページに戻る
Copyright (c) 2009 Japan Science and Technology Agency. All Rights Reserved