特許
J-GLOBAL ID:200903092074688010

2次元配列構造体の作製方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 北川 治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-039836
公開番号(公開出願番号):特開2005-234016
出願日: 2004年02月17日
公開日(公表日): 2005年09月02日
要約:
【課題】 微小物体が基盤上に正確かつ規則的に配列・固定化された2次元配列構造体を簡易なプロセスで低コストに作製できる方法を提供する。【解決手段】 光変形性と光照射時の物体固定化能力を持つ光応答性材料を用いて構造体基盤を構成し、一定の手段でその表面に凹凸が規則的に配列形成された凹凸構造を形成し、その凹凸構造の凹部に多数の微小物体を配列吸着させ、配列吸着された微小物体を構造体基盤の表面に対する光照射により固定化する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光変形を起こすことが可能で、かつ、表面に配置された微小物体に対して光照射時に固定化能力を示す光応答性材料を少なくとも表層部に有する構造体の表面に、任意の凹凸構造形成手段により、任意の並び形態で凹凸が規則的に配列形成された凹凸構造を形成するテンプレート形成工程と、 前記凹凸構造の凹部に対応するサイズの多数の微小物体を該凹部に配列吸着させる配列工程と、 配列吸着された前記微小物体を、前記構造体基盤の表面に光照射することにより固定化する固定化工程と、 を含むことを特徴とする2次元配列構造体の作製方法。
IPC (5件):
G02B1/02 ,  G02B1/04 ,  G02B6/12 ,  G02B6/13 ,  H01S3/06
FI (6件):
G02B1/02 ,  G02B1/04 ,  H01S3/06 Z ,  G02B6/12 Z ,  G02B6/12 M ,  C12N15/00 F
Fターム (18件):
2H047KA02 ,  2H047PA22 ,  2H047QA01 ,  2H047QA02 ,  2H047QA05 ,  4B024AA11 ,  4B024CA09 ,  4B024HA12 ,  4B024HA19 ,  4B033NA11 ,  4B033NA22 ,  4B033NB22 ,  4B033NB33 ,  4B033NB62 ,  4B033ND05 ,  4B033ND10 ,  4B033NE02 ,  5F172AE01
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 浅川潔、杉本喜正 「2次元フォトニック結晶 スラブ導波路と光集積回路」 O plus E, Vol. 25, No. 2
  • 井上宮雄、芳賀正明 「コロイド微粒子の二次元および三次元配列化とその応用」 色材,76 [1], 24-33 (2003)
審査官引用 (5件)
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