特許
J-GLOBAL ID：200903092094522240

位置検出装置、及び該位置検出装置を有するアライメント装置

発明者：
山田 朋宏

山田 朋宏 について

, 
水谷 夏彦

水谷 夏彦 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-126185
公開番号（公開出願番号）：特開2004-335569
出願日： 2003年05月01日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：
【課題】複雑な機構を必要とせず、水平方向と垂直方向における高精度の位置の検出が可能となる位置検出装置、及び該位置検出装置を有するアライメント装置を提供する。【解決手段】負誘電体と誘電体の界面構造を有し、該界面構造によって該界面構造を含む面内またはその近傍の微小構造に対するプラズモン強度を検出し、該界面構造と該微小構造との位置関係を検出する位置検出装置、及び該位置検出装置を有するアライメント装置を構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
負誘電体と誘電体の界面構造を有し、該界面構造によって該界面構造を含む面内またはその近傍の微小構造に対するプラズモン強度を検出し、該界面構造と該微小構造との位置関係を検出する構成を備えていることを特徴とする位置検出装置。
IPC (2件)：
H01L21/027 ,  G01B11/00
FI (3件)：
H01L21/30 507E ,  G01B11/00 Z ,  H01L21/30 502G
Fターム (26件)：
2F065AA20 ,  2F065CC18 ,  2F065FF00 ,  2F065FF41 ,  2F065GG24 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL01 ,  5F046BA01 ,  5F046BA10 ,  5F046CB12 ,  5F046CB17 ,  5F046DA20 ,  5F046DA27 ,  5F046EA03 ,  5F046EA12 ,  5F046EA13 ,  5F046EA18 ,  5F046EB01 ,  5F046FA03 ,  5F046FA09 ,  5F046FA20 ,  5F046FB04 ,  5F046FB08 ,  5F046FB20
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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