特許

J-GLOBAL ID：200903092104836922

超純水の製造方法

発明者： 山田 聡 ,  北辻 桂
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-215562
公開番号（公開出願番号）：特開2001-038390
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造工程からの排出水、工水、市水又は井水よりなる被処理水を、膜処理装置及びイオン交換樹脂を内蔵したイオン交換塔を備える超純水処理手段と、微生物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生物処理する生物反応槽及び生物反応槽からの処理水が導入される菌体分離器を備える生物処理手段とで処理して超純水を製造する方法において、生物反応槽において、有機物を除去すると共に、アンモニアを硝化し、後段のRO膜で効率的に除去することにより、イオン交換樹脂の負荷を軽減し、その再生頻度を低減する。【解決手段】 生物反応槽22における生物処理をpH8以上で行うことにより、アンモニアを亜硝酸に酸化する。

請求項（抜粋）：

半導体製造工程からの排出水、工水、市水又は井水よりなる被処理水を、膜処理装置及びイオン交換樹脂を内蔵したイオン交換塔を備える超純水処理手段と、微生物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生物処理する生物反応槽及び該生物反応槽からの処理水が導入される菌体分離器を備える生物処理手段とで処理して超純水を製造する方法において、該生物反応槽における生物処理をpH8以上で行うことを特徴とする超純水の製造方法。

IPC (6件)：

C02F 9/00 501 ,  C02F 9/00 502 ,  C02F 9/00 ,  C02F 9/00 503 ,  C02F 9/00 504 ,  C02F 3/02

FI (10件)：

C02F 9/00 501 B ,  C02F 9/00 502 F ,  C02F 9/00 502 G ,  C02F 9/00 502 H ,  C02F 9/00 502 J ,  C02F 9/00 502 R ,  C02F 9/00 503 B ,  C02F 9/00 504 A ,  C02F 9/00 504 E ,  C02F 3/02 A

Fターム (11件)：

4D003AA01 ,  4D003AA12 ,  4D003AB01 ,  4D003AB11 ,  4D003BA02 ,  4D003CA02 ,  4D003CA10 ,  4D003EA19 ,  4D003EA24 ,  4D003EA25 ,  4D003FA02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 超純水の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-022312   出願人：栗田工業株式会社
• 特開昭61-111198
  
• 半導体洗浄排水からの純水回収方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-125845   出願人：栗田工業株式会社