光検出器およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-560600
公開番号（公開出願番号）：特表2002-520798
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2002年07月09日
要約：

【要約】光センサは、放射線および/又は粒子を感知する陰極部(111)、電子を受取る陽極部(114)および陰極部を、その一方の端部に気密的に取付け、かつ陽極部を、その他方の端部に気密的に取付けている真空チャネルであって、導電層又は半導電層(107)により、内面が少なくとも一部覆われた、管状部材(106)から成る真空チャネル(112、113、200)から成っている。チャネル電子増倍器を製造する方法は、その内面の少なくとも一部に、管状部材と、導電層又は半導電層とを形成する工程、陽極部を形成し、陽極部を管状部材に封止する工程、管状部材を真空にする工程、放射線および/又は粒子を感知する陰極部を形成する工程、陰極部を真空の管状部材に封止する工程を含む。この光検出器は、少なくとも部分的にモールド材で封止される。

請求項（抜粋）：

電磁放射線および/又は粒子が入射すると電子を放出する陰極部(111)と、電子を受取る陽極部(114)と、一方の端部に陰極部が気密的に取付けられ、他方の端部が陽極部により気密的に封止された真空チャネル(106、106a、108、112、113、200)と、陽極部に向かう方向に真空チャネルの断面積を縮小する第1の縮小部とを有し、管状部材(106)から成る真空チャネルにおいて、その内面を少なくとも部分的に覆う、一次電子が入射すると二次電子を放出する導電層又は半導電層(107)と、を備えることを特徴とする電磁放射線又は粒子用の検出器。

IPC (3件)：

H01J 43/28 , H01J 43/04 , H01J 43/24

FI (3件)：

H01J 43/28 , H01J 43/04 , H01J 43/24

Fターム (3件)：

5C038BB01 , 5C038BB02 , 5C038BB04

引用特許：

審査官引用 (11件)

特表平5-509192
特開平1-239749
特開平1-292737

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