特許
J-GLOBAL ID：200903092148248858
液体吐出ヘッド及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-239328
公開番号（公開出願番号）：特開2007-106112
出願日： 2006年09月04日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：
【課題】製造工程を簡略化でき、かつ、接続の信頼性を確保できる液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】圧電素子58が設置された振動板56の上に圧電素子58を覆うように液状のレジストを塗布し、硬化させてレジスト層98を形成する。そして、その振動板56の上に形成されたレジスト層98を露光、現像して、圧電素子58の可動部58aと電気接続部58bを覆うレジストを分割して除去し、レジスト層98に圧電素子の可動空間100と接続空間102を分割して形成する。この後、接続空間102に導電性接着剤108を充填し、圧電素子58との接続を確保する。これにより、圧電素子58の周囲がレジストで満たされた状態で封止され、リーク電流を防止できる。【選択図】 図11
請求項（抜粋）：
振動板上に設置された圧電素子で圧力室を変形させて、該圧力室に連通された吐出口から液体を吐出させる液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記圧電素子が設置された振動板上に前記圧電素子を覆うように液状のレジストを塗布して、硬化させ、前記振動板上にレジスト層を形成するレジスト層形成工程と、
前記振動板上に形成されたレジスト層を露光、現像して、前記圧電素子の可動部と電気接続部を覆うレジストを分割して除去し、前記レジスト層に前記圧電素子の可動空間と接続空間とを分割して形成する空間形成工程と、
前記レジスト層に形成された前記接続空間に導電性材料を充填する導電性材料充填工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
2C057AF69
, 2C057AF93
, 2C057AG15
, 2C057AG42
, 2C057AG84
, 2C057AG89
, 2C057AG90
, 2C057AG91
, 2C057AN05
, 2C057AP02
, 2C057AP23
, 2C057AP25
, 2C057AP57
, 2C057AP75
, 2C057AP90
, 2C057BA03
, 2C057BA14
