特許

J-GLOBAL ID：200903092231833606

走査電子顕微鏡

発明者： 宮本 卓治 ,  深谷 律雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-314413
公開番号（公開出願番号）：特開2002-117799
出願日： 2000年10月10日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：

【要約】【課題】装置特性の経時変化をモニターする。【解決手段】走査電子顕微鏡に、画像処理装置を組み込んだ構成である。マイクロスケールという特定の試料の二次電子信号の特長から、ビーム特性に対応する特長量としてのビーム半値幅を日々計測することにより、装置特性の経時変化をモニターする。

請求項（抜粋）：

電子ビームを試料上に細く集束するとともに試料上で電子ビームを二次元的に走査し試料から得られた信号を検出し検出信号に基づいて試料の走査像を得るようにした走査電子顕微鏡において、観察像をデジタル化する手段とデジタル化した画像に演算を施す手段を有し、前記観察像として既知試料の観察像を入力し、前記既知試料の形状特性の特徴を基にした特性量を抽出することを特長とする走査電子顕微鏡。

IPC (4件)：

H01J 37/28 ,  G01B 15/00 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/22 502

FI (4件)：

H01J 37/28 B ,  G01B 15/00 B ,  H01J 37/04 A ,  H01J 37/22 502 H

Fターム (17件)：

2F067AA33 ,  2F067AA45 ,  2F067BB01 ,  2F067GG01 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK08 ,  2F067PP12 ,  2F067RR12 ,  2F067RR14 ,  2F067RR35 ,  2F067SS02 ,  5C030AA04 ,  5C030AB02 ,  5C033UU03 ,  5C033UU05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 走査電子顕微鏡における自動画像調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-345698   出願人：日本電子株式会社
• 走査形電子顕微鏡における画像信号処理方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-323585   出願人：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
• 特開昭59-225310