特許
J-GLOBAL ID：200903092257861608

薄膜バルク波振動子およびその製造方法

発明者：
小室 栄樹

小室 栄樹 について

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斉藤 久俊

斉藤 久俊 について

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山下 喜就

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出願人/特許権者：
TDK株式会社

TDK株式会社 について


代理人 (1件)： 星宮 勝美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-194530
公開番号（公開出願番号）：特開2005-033379
出願日： 2003年07月09日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】特性のよい薄膜バルク波振動子を実現する。【解決手段】薄膜バルク波振動子10は、基体11と、基体11の上に配置されたバリア層12と、バリア層12の上に配置された下部電極13と、下部電極13の上に配置された圧電薄膜14と、圧電薄膜14の上に配置された上部電極15とを備えている。圧電薄膜14は、膜面に対して交差する方向に延びる柱状の結晶を含んでいる。圧電薄膜14の上面は、研磨により平坦化されることによって、その二乗平均平方根粗さは2nm以下となっている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧電性を有する圧電薄膜と、 前記圧電薄膜の両面に配置され、前記圧電薄膜に励振用電圧を印加する第1の電極および第2の電極と、 基体とを備え、 前記第1の電極、圧電薄膜および第2の電極は、この順に、前記基体上に積層されており、 前記圧電薄膜における第2の電極に近い表面の二乗平均平方根粗さは、2nm以下であることを特徴とする薄膜バルク波振動子。
IPC (7件)：
H03H9/17 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H03H3/02
FI (7件)：
H03H9/17 F ,  H03H3/02 B ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 D ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z
Fターム (7件)：
5J108AA00 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108KK01 ,  5J108KK07 ,  5J108MM11
引用特許：
審査官引用 (4件)
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