特許
J-GLOBAL ID：200903092300963860
ウエハの洗浄方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-221319
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064861
出願日： 1996年08月22日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 洗浄処理から次工程の装置までの搬送すべてを窒素ガス雰囲気中で行なうことを可能にしたウエハの洗浄装置を提供する。【解決手段】 不活性ガスでパージされた搬送ボックス12内に収納された複数枚のウエハ6を、不活性ガス雰囲気中で、同じく不活性ガスでパージされた処理ボックス1内に移し、洗浄処理を行った後、再び不活性ガス雰囲気中で前記搬送ボックス12内に戻して収納する。
請求項（抜粋）：
不活性ガスでパージされた搬送ボックス内に収納された複数枚のウエハを、不活性ガス雰囲気中で、同じく不活性ガスでパージされた処理ボックス内に移し、この処理ボックス内で洗浄処理を行った後、不活性ガス雰囲気中で前記搬送ボックス内に戻して収納することを特徴とするウエハの洗浄方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/68
H01L 21/304 341 C
, H01L 21/68 A
