特許

J-GLOBAL ID：200903092308934966

荷電粒子ビーム安定化装置

発明者： 三田村 茂宏 ,  林 広司
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 塩野入 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-056560
公開番号（公開出願番号）：特開2002-257997
出願日： 2001年03月01日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】 荷電粒子源の経時変化に対して照射される荷電粒子ビームの変化を減少させ安定した荷電粒子ビームを得る。【解決手段】 荷電粒子源2からの荷電粒子ビームを偏向するビーム偏向器3と、荷電粒子ビームの照射位置の偏移に基づいて荷電粒子ビームの時間的変化を求める測定手段10と、荷電粒子ビームの時間的変化に基づいて、偏向器による荷電粒子ビームの偏移量を時間的に補正する補正量を算出する補正量算出手段12とを備えた構成とし、荷電粒子ビームの時間的変化を予測し、この予測に基づいて偏向器を駆動して荷電粒子ビームを制御することによって、荷電粒子ビームの経時変化による軸ずれを軸調整して安定化させる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子源からの荷電粒子ビームを偏向するビーム偏向器と、荷電粒子ビームの照射位置の偏移に基づいて荷電粒子ビームの時間的変化を求める測定手段と、前記荷電粒子ビームの時間的変化に基づいて、前記偏向器による荷電粒子ビームの偏移量を時間的に補正する補正量を算出する補正量算出手段とを備え、前記ビーム偏向器による荷電粒子ビームの制御は、荷電粒子ビームの時間的変化を求める測定モードと、前記補正量算出手段からの補正量に基づいて荷電粒子ビームを軸調整する軸調整モードとを切換えて行うことによって荷電粒子ビームを安定化させることを特徴とする荷電粒子ビーム安定化装置。

IPC (2件)：

G21K 5/04 ,  G21K 5/00

FI (4件)：

G21K 5/04 C ,  G21K 5/04 A ,  G21K 5/04 E ,  G21K 5/00 R

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 荷電粒子ビーム露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-339034   出願人：富士通株式会社
• 放射線治療装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-170987   出願人：株式会社日立メディコ
• 特開昭63-308317