特許

J-GLOBAL ID：200903092333846729

ペースト塗布装置およびペースト塗布方法

発明者： 有門 一雄
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096344
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288452
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：

【要約】【課題】 応答性よく安定してペーストを塗布することができるペースト塗布装置およびペースト塗布方法を提供することを目的とする。【解決手段】 シリンジ17に貯溜されたペースト7をチューブ18によって導き、吐出口から吐出させるペースト塗布方法において、チューブ18の途中に設けられた圧電獅子22より成る振動付与手段によってチューブ18に沿った方向の振動を付与する。このとき、圧電素子22の振動の速度パターンを制御手段によって制御して吐出口方向への変位時の最大速度v1を、反対方向への変位時の最大速度v2よりも大きくなるように設定し、チューブ18内のペーストを吐出口より吐出させる。これにより、ペースト7を応答性よく安定して吐出させて塗布対象物に塗布することができる。

請求項（抜粋）：

ペーストを貯溜する容器と、この容器に一端が連結され他端がペーストを吐出する吐出口と連結された管路と、この管路の途中に設けられ管路に沿った方向の振動を付与する振動付与手段と、この振動付与手段の振動を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするペースト塗布装置。

IPC (4件)：

B05C 5/02 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/26 ,  H01L 21/52

FI (4件)：

B05C 5/02 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/26 Z ,  H01L 21/52 G

Fターム (30件)：

4D075AC06 ,  4D075AC84 ,  4D075AC86 ,  4D075AC92 ,  4D075BB12Z ,  4D075BB16Z ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DB14 ,  4D075DC22 ,  4D075EA35 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA32 ,  4F041BA34 ,  4F041BA56 ,  4F042AA07 ,  4F042BA12 ,  4F042CB19 ,  4F042CB24 ,  4F042EB18 ,  5F047AA11 ,  5F047AA17 ,  5F047BA21 ,  5F047BB11 ,  5F047BB13 ,  5F047BB16 ,  5F047CA01 ,  5F047FA22

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 試料調製装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-036464   出願人：株式会社日立製作所, 日立工機株式会社
• 流体を表面に供給する方法及び装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-504265   出願人：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
• 塗布装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-158271   出願人：ソニー株式会社
• ペースト塗布機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-322456   出願人：日立テクノエンジニアリング株式会社