特許
J-GLOBAL ID：200903092368509105
防食用チタン酸化膜の作製方法および防食用チタン酸化膜
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-284416
公開番号（公開出願番号）：特開平10-130805
出願日： 1996年10月25日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：
【要約】【課題】 半導体の機能低下を起こすことなくTiO2 粒体を被防食材の表面に付着させ防食効果を高める。【解決手段】 TiO2 粒体をプラズマ流に乗せて被防食材の表面に溶射することにより、チタン酸化膜を作製する際に、プラズマガスとしてArガスを選択し、2次ガスとしてHeガスおよびH2 ガスを使用する。
請求項（抜粋）：
TiO2 粒体をプラズマ流に乗せて被防食材(X)の表面に溶射することによりチタン酸化膜(Y)を作製する方法であって、プラズマガスとしてArガスを選択し、2次ガスとしてHeガスおよび微量のH2 ガスを使用することを特徴とする防食用チタン酸化膜の作製方法。
IPC (4件)：
C23C 4/10
, C23C 4/12
, C23F 15/00
, G21D 1/00
C23C 4/10
, C23C 4/12
, C23F 15/00
, G21D 1/00 W
