集光装置および集光方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：原謙三 , 木島隆一 , 金子一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-314453
公開番号（公開出願番号）：特開2005-084252
出願日： 2003年09月05日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：

【課題】入射レーザの波長に係わらず、入射レーザの集光プロファイルを平坦化できる集光装置を低コストにて提供する。【解決手段】複数のディンプル2...が凹面状に連続するように形成された放物面ミラー3を備え、ディンプル2の集光距離が、放物面ミラー3の集光距離よりも短くなるように構成する。上記構成により、複数のディンプル2...により分割された後のレーザを、それぞれの集光プロファイルがややずれた状態にて、放物面ミラー3により重ね合わせることができる。これにより、入射レーザの波長に関わらず、集光プロファイルを平坦化することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の第1凹面鏡が凹面状に連続するように形成された第2凹面鏡を備え、上記第1凹面鏡の集光距離が、上記第2凹面鏡の集光距離よりも短いことを特徴とする集光装置。

IPC (4件)：

G02B27/10 , G02B5/10 , G02B17/08 , H01S3/00

FI (4件)：

G02B27/10 , G02B5/10 A , G02B17/08 Z , H01S3/00 B

Fターム (11件)：

2H042DD06 , 2H042DD08 , 2H042DD10 , 2H042DE06 , 2H042DE07 , 2H087KA26 , 2H087RA04 , 2H087TA04 , 2H087TA06 , 5F072KK05 , 5F072YY06

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