特許
J-GLOBAL ID：200903092445489066
感光性樹脂組成物層、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法、プリント配線板の製造法及びリードフレームの製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287293
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275861
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 解像度、密着性及び作業性が特に優れる感光性樹脂組成物層、感光性エレメント、レジストパターンの製造法およびこのレジストパターンを有するプリント配線板又はリードフレームの製造法の提供。【解決手段】 第一の感光性樹脂組成物層及び第二の感光性樹脂組成物層が、バインダーポリマー、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有するモノマー及び光重合開始剤を含有してなる組成物であり、かつ、第二の感光性樹脂組成物層の厚みが1〜5μmで、かつ365nmにおける吸光度が0.4〜1.5である感光性樹脂組成物層、支持体上に第一と第二の感光性樹脂組成物層を順次積層してなる感光性エレメント、これを、回路形成用基板上に積層し、活性光線を照射し、露光部を光硬化させ、未露光部を現像で除去するレジストパターンの製造法並びに回路形成用基板をエッチング若しくはめっきすることを特徴とするプリント配線板又はリードフレームの製造法。
請求項（抜粋）：
第一の感光性樹脂組成物層及び第二の感光性樹脂組成物層を有してなり、第一の感光性樹脂組成物層及び第二の感光性樹脂組成物層が、(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有するモノマー及び(C)光重合開始剤を含有してなる組成物であり、かつ、第二の感光性樹脂組成物層の厚みが1〜5μmであり、かつ365nmにおける吸光度が0.4〜1.5である感光性樹脂組成物層。
IPC (9件)：
G03F 7/095
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/032
, G03F 7/26 511
, G03F 7/30
, G03F 7/40 521
, H01L 23/50
, H05K 3/28
G03F 7/095
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/032
, G03F 7/26 511
, G03F 7/30
, G03F 7/40 521
, H01L 23/50 D
, H01L 23/50 A
, H05K 3/28 C
