特許
J-GLOBAL ID:200903092452170288
コントラストを評価して試料を走査するための方法および装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
江崎 光史
, 奥村 義道
, 鍛冶澤 實
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-512754
公開番号(公開出願番号):特表2008-542800
出願日: 2006年05月23日
公開日(公表日): 2008年11月27日
要約:
本発明の対象は、試料(1)を光学走査するための方法および装置である。このため装置は調整ユニット(2、3)と、光学ユニット(4)および走査ユニット(5)を有する走査機構(4、5)とを備えている。付加的に実現されている制御装置(6)が光学ユニット(4)、走査ユニット(5)および調整ユニット(2、3)を制御する。試料(1)は制御装置(6)から操作される調整ユニット(2、3)によって走査機構(4、5)に対して動かされ、またはその逆である。こうして走査機構(4、5)で得られた個別画像(7)は制御装置(6)内で少なくとも1つの総画像へと合成される。本発明によれば、その都度検出された個別画像(7)はそのコントラストに関して全体または一部を評価され、これにより得られるコントラスト値(K)が装置全体の機能性に影響を及ぼす。
請求項(抜粋):
調整ユニット(2、3)と光学ユニット(4)および走査ユニット(5)を有する走査機構(4、5)と光学ユニット(4)、走査ユニット(5)および調整ユニット(2、3)を制御する制御装置(6)とで試料(1)を光学走査するための方法であって、試料(1)が、制御装置(6)から操作される調整ユニット(2、3)によって走査機構(4、5)に対して動かされ、またはその逆であり、こうして走査機構(4、5)で得られた個別画像(7)が制御装置(6)内で少なくとも1つの総画像へと合成されるものにおいて、その都度検出された個別画像(7)が適応センサユニット(12)によってそのコントラストに関して全体または一部を評価され、これにより得られるコントラスト値(K)が装置全体の機能性に影響を及ぼすことを特徴とする方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (8件):
2H052AA07
, 2H052AA09
, 2H052AD06
, 2H052AD09
, 2H052AD20
, 2H052AF02
, 2H052AF14
, 2H052AF25
引用特許:
出願人引用 (4件)
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米国特許第4760385号明細書
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米国特許第6620591号明細書
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米国特許第5526258号明細書
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米国特許第5023917号明細書
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審査官引用 (5件)
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