特許
J-GLOBAL ID：200903092467023893
半導体基板位置検知装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-155569
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074229
出願日： 1993年06月25日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 基板移載機の位置設定を行うティーチング作業における半導体基板位置検出を自動検知し、作業時間の短縮と作業効率の向上を図る。【構成】 カセット棚3のカセット4,ボート5に、ウェーハ9と同等の円形状の板10の中心にピンを垂設した治具1を載置し、基板移載機7に、距離計測可能な反射型距離検出センサ8を設ける。
請求項（抜粋）：
カセット棚のカセット、ボートに載置され半導体基板と同等形状の板の中心にピンを垂設した治具と、基板移載機に設けられ距離計測可能な反射型距離検出センサとよりなる半導体基板位置検知装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, G01B 11/14
, H01L 21/22
, H01L 33/00
