搬送装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-026691
公開番号（公開出願番号）：特開2001-219390
出願日： 2000年02月03日
公開日（公表日）： 2001年08月14日
要約：

【要約】【課題】ウエハW等の被搬送物を保持するための保持力fが低下した場合でも、搬送速度sなどの搬送特性を適切に選択・制御することで、効率よく搬送することができる搬送装置を提供すること【解決手段】被搬送物Wを保持する保持部Hと、前記保持部による保持力を検出する検出部SNS,5と、前記保持力に対応した所定の搬送特性Sを選択する選択部6と、前記選択された搬送特性を制御する制御部7とを有する。

請求項（抜粋）：

被搬送物を保持する保持部と、前記保持部による保持力を検出する検出部と、前記保持力に対応した所定の搬送特性を選択する選択部と、前記選択された搬送特性を制御する制御部と、を有することを特徴とする搬送装置。

IPC (4件)：

B25J 13/00 , B25J 15/06 , B65G 49/07 , H01L 21/68

FI (4件)：

B25J 13/00 Z , B25J 15/06 B , B65G 49/07 C , H01L 21/68 B

Fターム (29件)：

3C007DS01 , 3C007FS01 , 3C007FS06 , 3C007FU01 , 3C007FU04 , 3C007GU03 , 3C007KS30 , 3C007LV10 , 3C007NS09 , 3F059AA01 , 3F059BA09 , 3F059DC04 , 3F059FC02 , 3F061AA01 , 3F061CA01 , 3F061CA06 , 3F061CC01 , 3F061CC13 , 3F061DB04 , 3F061DC03 , 3F061DD02 , 3F061DD03 , 5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031GA07 , 5F031GA08 , 5F031GA09 , 5F031JA45 , 5F031PA10

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平2-030481
特開平2-030481
レチクル保持装置および保持方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-249229 出願人：株式会社ニコン

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