特許
J-GLOBAL ID:200903092537836684

半導体装置およびその作製方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-355205
公開番号(公開出願番号):特開2001-175198
出願日: 1999年12月14日
公開日(公表日): 2001年06月29日
要約:
【要約】【課題】 カラーフィルタを対向基板に設けた液晶表示パネルでは素子基板と対向基板とを極めて高い精度で位置合わせして組み立てることが必要であり、この精度が低い場合には開口率が低下して表示が暗くなるという問題があった。【解決手段】 本発明は、周辺回路である駆動回路402、403上に赤のカラーフィルタ(R)404a、404bを設け、画素TFT部407を保護する赤色のカラーフィルタ405dを各画素毎に形成する。
請求項(抜粋):
画素部に設けた画素TFTと、該画素部の周辺にpチャネル型TFTとnチャネル型TFTとを設けた駆動回路とを同一の基板上に有する半導体装置において、前記駆動回路のpチャネル型TFT、前記駆動回路のnチャネル型TFT、及び前記画素部の画素TFTは、ゲート絶縁膜上に接して形成されたカラーフィルタと、前記カラーフィルタ上に接して有機絶縁物材料からなる層間絶縁膜とを有していることを特徴とする半導体装置。
IPC (7件):
G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 348 ,  G09F 9/30 349 ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/768 ,  H01L 29/786
FI (7件):
G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 348 A ,  G09F 9/30 349 B ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/90 S ,  H01L 29/78 612 B
Fターム (124件):
2H091FA02Y ,  2H091FA44Y ,  2H091GA03 ,  2H091GA07 ,  2H091GA13 ,  2H092HA28 ,  2H092JA24 ,  2H092JA34 ,  2H092JB57 ,  2H092KB25 ,  2H092KB26 ,  5C094AA25 ,  5C094AA43 ,  5C094AA48 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA09 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA07 ,  5C094EA10 ,  5C094EB02 ,  5C094ED03 ,  5C094FA01 ,  5C094GB10 ,  5F033GG04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH10 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033HH27 ,  5F033HH28 ,  5F033HH29 ,  5F033HH30 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ18 ,  5F033KK04 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033MM19 ,  5F033NN32 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033SS22 ,  5F033TT04 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033WW00 ,  5F033XX10 ,  5F110BB01 ,  5F110CC02 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE01 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE06 ,  5F110EE11 ,  5F110EE14 ,  5F110EE23 ,  5F110EE37 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG25 ,  5F110GG34 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG51 ,  5F110GG52 ,  5F110GG58 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL11 ,  5F110HL12 ,  5F110HL14 ,  5F110HL22 ,  5F110HL23 ,  5F110NN01 ,  5F110NN03 ,  5F110NN16 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN40 ,  5F110NN72 ,  5F110PP01 ,  5F110PP02 ,  5F110PP03 ,  5F110PP34 ,  5F110QQ24 ,  5F110QQ25
引用特許:
審査官引用 (16件)
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