特許
J-GLOBAL ID：200903092537958968

液滴吐出装置、パターン形成方法、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置

発明者：
三浦 弘綱

三浦 弘綱 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-099941
公開番号（公開出願番号）：特開2006-272294
出願日： 2005年03月30日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：
【課題】 液滴を乾燥することによって形成するパターンの組成プロファイルを所望の組成プロファイルに制御する液滴吐出装置、パターン形成方法、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置を提供する。【解決手段】 着色層領域23の反Y矢印方向にのみ鋭いピークを有し、その照射強度の最大値が、着色層形成材料と分散媒の蒸発を十分に抑制し、かつ、対応する液滴内で、着色層形成材料と分散媒の熱対流を誘起させる強度で、第1攪拌プロファイルBP1を成形した。そして、第1攪拌プロファイルBP1から連続して、着色層領域のY矢印方向にのみ鋭いピークを有し、その照射強度の最大値が、着色層形成材料と分散媒の蒸発を十分に抑制し、かつ、対応する液滴内で、着色層形成材料と分散媒の熱対流を誘起させる強度で、第2攪拌プロファイルBP2を連続して成形した。【選択図】 図8
請求項（抜粋）：
パターン形成材料を含む液滴を基板に吐出する液滴吐出手段と、前記基板に着弾した液滴を乾燥することによってパターンを形成する乾燥手段とを備えた液滴吐出装置において、 前記乾燥手段は、 前記液滴内のパターン形成材料を流動可能にするエネルギーを出力するエネルギー出力手段と、 前記液滴内のパターン形成材料の分布を、前記パターンの組成プロファイルに対応させるためのエネルギープロファイル情報に基づいて、前記エネルギープロファイルを制御するエネルギープロファイル制御手段と、 を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
IPC (4件)：
B05C 9/12 ,  B05C 5/00 ,  G02B 5/20 ,  B41J 2/01
FI (4件)：
B05C9/12 ,  B05C5/00 101 ,  G02B5/20 101 ,  B41J3/04 101Z
Fターム (20件)：
2C056EA04 ,  2C056FB01 ,  2C056HA44 ,  2H048BA02 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA34 ,  4F041BA56 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042BA22 ,  4F042BA25 ,  4F042DB51
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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