特許

J-GLOBAL ID：200903092609368214

水性分散液、その製造法および該分散液の使用

発明者： ヴォルフガング ロルツ ,  クリストフ バッツ-ゾーン ,  ガブリエレ パーレット ,  ヴェルナー ヴィル
出願人/特許権者： デグサ アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-336247
公開番号（公開出願番号）：特開2002-211915
出願日： 2001年11月01日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】 簡単に得ることができ、不純物の僅かな含量だけを有し、かつ再現可能であるように粒径を生じることができる、酸化セリウムを含有する水性分散液を提供する。【解決手段】 水性分散液が酸化セリウムでドープされた熱分解法二酸化珪素を含有し、この場合この酸化セリウムは、セリウム塩溶液またはセリウム懸濁液からなるエーロゾルにより導入され、分散液中の平均粒径は、100nm未満である。

請求項（抜粋）：

水性分散液において、この水性分散液が酸化セリウムでドープされた熱分解法二酸化珪素を含有し、この場合この酸化セリウムは、セリウム塩溶液またはセリウム懸濁液からなるエーロゾルにより導入され、分散液中の平均粒径は、100nm未満であることを特徴とする、水性分散液。

IPC (6件)：

C01B 33/141 ,  C03B 8/02 ,  C03B 20/00 ,  C03C 19/00 ,  D21H 19/38 ,  H01L 21/306

FI (7件)：

C01B 33/141 ,  C03B 8/02 A ,  C03B 20/00 C ,  C03B 20/00 F ,  C03C 19/00 Z ,  D21H 19/38 ,  H01L 21/306 M

Fターム (29件)：

4G014AH02 ,  4G059AA08 ,  4G059AB03 ,  4G059AC03 ,  4G059AC24 ,  4G072AA28 ,  4G072AA38 ,  4G072BB05 ,  4G072CC01 ,  4G072DD07 ,  4G072DD08 ,  4G072EE01 ,  4G072GG03 ,  4G072HH17 ,  4G072JJ26 ,  4G072KK09 ,  4G072KK15 ,  4G072KK17 ,  4G072TT01 ,  4G072TT06 ,  4G072UU21 ,  4G072UU25 ,  4L055AG18 ,  4L055AH02 ,  4L055AJ04 ,  4L055BE08 ,  4L055GA50 ,  5F043AA02 ,  5F043DD16

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 研磨剤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-288633   出願人：株式会社トクヤマ
• ドープされた熱分解法で得られた酸化物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-347348   出願人：デグッサアクチェンゲゼルシャフト