特許
J-GLOBAL ID：200903092613361178
恒温維持装置。
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川島 順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-136188
公開番号（公開出願番号）：特開2008-292026
出願日： 2007年05月23日
公開日（公表日）： 2008年12月04日
要約：
【課題】外部熱負荷装置の急激な温度変化にも対応できる熱応答性が高くしかも高精度の温度制御が可能な恒温維持装置を提供する。【解決の手段】恒温維持装置のメインユニット1の冷却側タンク43から予め定められた温度に調整された低温循環液が供給配管14によってサブユニット2の三方弁20に供給される。一方、加熱側タンク44から予め定められた温度に調整された高温循環液が供給配管15によって三方弁20に供給される。低温循環液と高温循環液は三方弁20において外部熱負荷装置7の温度によって混合割合を調整された後、熱交換室71に供給されて外部熱負荷装置7の温度を設定温度に維持する。外部熱負荷装置7の温度はプロセスチャンバーに設置された温度センサー72,恒温循環液供給管に設置された温度センサー23、恒温循環液戻り管に設置された温度センサー24の何れかで計測されて、三方弁20の弁開度をフィードバック制御する。【選択図】 図11
請求項（抜粋）：
外部熱負荷装置の温度を熱媒体循環液との間接熱交換によって制御するための恒温維持装置であって、予め定められた温度に調整された高温熱媒体循環液を生成するための高温熱媒体循環液生成手段と予め定められた温度に調整された低温熱媒体循環液を生成するための低温熱媒体循環液生成手段とを備えたメインユニットと、上記高温熱媒体循環液と上記低温熱媒体循環液とを直接混合すると共に該高温熱媒体循環液と該低温熱媒体循環液との流量比を上記外部熱負荷装置の温度に応じて制御することによって予め定められた設定温度の熱媒体循環液を生成するための恒温熱媒体循環液生成手段を備えたサブユニットとより構成されていることを特徴とする恒温維持装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F25D17/02 303
, F25D9/00 B
3L044AA01
, 3L044BA09
, 3L044CA03
, 3L044DB02
, 3L044DD07
, 3L044FA01
, 3L044FA02
, 3L044GA02
, 3L044HA01
, 3L044HA03
, 3L044HA07
, 3L044JA01
