炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：菊池武胤 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-268334
公開番号（公開出願番号）：特開2001-092537
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】炉体に設けた複数のヒーターの中の基準のヒーターの近傍の一本の温度センサにより、複数のヒーターの出力を制御し、炉体内を均一温度に調節するようにした炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装置。【解決手段】炉体10に設けた基準のヒーター1,2,3を含む複数のヒーターの出力を制御して炉体内を任意の設定温度に加熱し、炉体内に設けた複数個の炉体内温度分布センサ6,7,8の温度差を設定温度に対して一定範囲内に制御し、そのときの前記ヒータの各出力をマイクロコンピュータ11の不揮発性メモリ12に記憶し、次いで、炉体10内に試料を投入し、校正用温度センサにより試料の温度を測定し、前記設定温度と校正用温度センサの温度差を校正値として不揮発性メモリ12に記憶し、炉体10の基準のヒーターの近傍の一本の温度センサ4により、前記不揮発性メモリに基づいて校正値を設定温度に加算した温度になるように複数のヒータの出力を制御し、炉体内を均一温度に調節するようにした炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装置。

請求項（抜粋）：

炉体に設けた基準のヒーターを含む複数のヒーターの出力を制御して炉体内を任意の設定温度に加熱し、炉体内に一定間隔で設けた複数個の炉体内温度分布センサの温度差を設定温度に対して一定範囲内に制御する一方、そのときの前記複数のヒーターの各出力をマイクロコンピュータの不揮発性メモリに記憶し、次いで、炉体内温度分布センサを除去して炉体内に試料を投入し、校正用温度センサにより試料内の温度を測定し、前記設定温度と校正用温度センサの温度差を校正値としてマイクロコンピュータの不揮発性メモリに記憶し、炉体の基準のヒーターの近傍の一本の温度センサにより、前記不揮発性メモリに基づいて校正値を設定温度に加算した温度になるように複数のヒーターの出力を制御し、炉体内を均一温度に調節するようにした炉体等の温度制御方法。

IPC (2件)：

G05D 23/00 , G05D 23/19

FI (3件)：

G05D 23/00 D , G05D 23/19 G , G05D 23/19 E

Fターム (10件)：

5H323AA27 , 5H323AA29 , 5H323BB03 , 5H323CA10 , 5H323CB02 , 5H323EE01 , 5H323FF01 , 5H323GG01 , 5H323KK07 , 5H323QQ05

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-052215
特開平4-052215
特開昭63-098007

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