特許
J-GLOBAL ID：200903092643465660
多結晶ダイヤモンド微粉を含むスラリー液
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323981
公開番号（公開出願番号）：特開平11-138424
出願日： 1997年11月11日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：
【要約】【課題】磁気ハードディスク基板の微細な中心線平均粗さ(Ra)を得ることができ、さらにヘッドヒットなどの問題を引き起こさないようにテクスチャ加工を行うことのできるスラリー液を提供する。【解決手段】本発明のスラリー液は、多結晶ダイヤモンド微粉を含む。多結晶ダイヤモンド微粉の平均粒径は、好適には0.05〜5μmであり、好適にはスラリー液中に0.01〜3重量%の範囲で含まれる。磁気ハードディスク基板のテクスチャ加工は、磁気ハードディスク基板の表面に研摩テープを押しつけ、研摩テープを送るとともに、磁気ハードディスク基板を研磨テープの走行方向と逆の方向に回転し、研摩テープと磁気ハードディスク基板の表面との接面付近にスラリー液を供給することによって行われる。
請求項（抜粋）：
磁気ハードディスク基板表面をテクスチャ加工をするためのスラリー液であって、多結晶ダイヤモンド微粉を含む、ところのスラリー液。
IPC (2件)：
B24B 37/00
, C09K 3/14 550
B24B 37/00 H
, C09K 3/14 550 F
