揮発性物質の供給装置およびその制御方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川北武長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-283172
公開番号（公開出願番号）：特開2001-104769
出願日： 1999年10月04日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】微量の揮発性物質の定量供給を安定に行うことができる揮発性物質の供給装置およびその制御方法を提供する。【解決手段】(1) 揮発性物質液を気化する気化器1、気化した揮発性物質ガスの一部を凝縮する凝縮器3、気化器に搬送ガスを供給する搬送ガス供給配管2、気化器および凝縮器を連結する連結配管5、凝縮器の揮発性物質ガスを搬送ガスとともに系外に輸送する混合ガス輸送配管4、搬送ガスの供給量を制御する搬送ガス流量制御器6、気化器温度を所定温度に維持する気化器温度制御装置7および凝縮器温度を一定温度に維持する凝縮器温度制御装置8を備えた揮発性物質の供給装置。(2) 搬送ガス供給配管の温度を気化器温度に、気化器の温度を凝縮器温度における揮発性物質の飽和蒸気量よりも多い量が気化する温度に、凝縮器温度を必要量の揮発性物質が得られる温度に維持する前記装置の制御方法。

請求項（抜粋）：

貯留された揮発性物質液を気化する気化器と、該気化器で気化した揮発性物質ガスの一部を凝縮する凝縮器と、該気化器に搬送ガスを供給する搬送ガス供給配管と、該気化器および凝縮器を連結する連結配管と、該凝縮器の揮発性物質ガスを搬送ガスとともに系外に輸送する混合ガス輸送配管と、前記搬送ガスの供給量を制御する搬送ガス流量制御器と、前記気化器の温度を所定の温度に維持する気化器温度制御装置と、前記凝縮器の温度を一定の温度に維持する凝縮器温度制御装置とを備えたことを特徴とする揮発性物質の供給装置。

IPC (3件)：

B01J 4/02 , C23C 16/448 , G05D 23/00

FI (3件)：

B01J 4/02 A , C23C 16/448 , G05D 23/00 D

Fターム (43件)：

4G068AA02 , 4G068AB02 , 4G068AB04 , 4G068AC05 , 4G068AC16 , 4G068AC20 , 4G068AD21 , 4G068AE01 , 4G068AE06 , 4G068AE10 , 4G068AF13 , 4G068AF31 , 4G068DA04 , 4G068DA07 , 4G068DB02 , 4G068DB03 , 4G068DD08 , 4G068DD15 , 4K030AA09 , 4K030AA11 , 4K030AA24 , 4K030EA01 , 4K030KA41 , 5H323AA40 , 5H323BB03 , 5H323CA01 , 5H323CB02 , 5H323CB23 , 5H323CB32 , 5H323CB33 , 5H323CB35 , 5H323CB40 , 5H323CB44 , 5H323DA01 , 5H323EE14 , 5H323EE16 , 5H323EE17 , 5H323FF04 , 5H323FF10 , 5H323HH02 , 5H323JJ06 , 5H323JJ10 , 5H323KK05

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-341340
液体原料ガスの供給方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-204488 出願人：信越半導体株式会社
特開平4-341340

全件表示

前のページに戻る