特許
J-GLOBAL ID：200903092681184179
防食処理原液
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-036858
公開番号（公開出願番号）：特開2001-319913
出願日： 2001年02月14日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：
【要約】【課題】銅又は銅合金等が露出した金属表面に対して、洗浄処理、保管処理及び保護膜形成処理等に用いられ、輸送・保管・処理等の温度環境で防食剤が析出しないようにした防食処理原液を提供すること。【解決手段】銅又は銅合金の露出金属表面に対して、水溶液として利用できる防食処理原液であって、防食剤と析出防止剤とを含有し、防食剤が、トリアゾール系化合物及び/又はその誘導体系化合物として、濃度0.05〜20重量%範囲にあり、また、この析出防止剤の化合物が、分子内に金属原子を含まない水溶性アルカリ化合物であり、更に処理原液の水溶液pHが、4〜12の範囲にある防食処理原液である。
請求項（抜粋）：
金属が露出した半導体基板を防食処理する防食処理液の原液であって、防食剤としてトリアゾール系化合物及び/又はその誘導体系化合物と、前記防食剤の析出防止剤とを含有することを特徴とする防食処理原液。
IPC (3件)：
H01L 21/304 647
, H01L 21/304
, H01L 21/3205
H01L 21/304 647 Z
, H01L 21/304 647 A
, H01L 21/88 M
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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