特許
J-GLOBAL ID：200903000792845717
金属研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-372607
公開番号（公開出願番号）：特開2000-195831
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：
【要約】【課題】金属研磨液の濃縮を可能とし、且つ信頼性の高い金属膜の埋め込みパターンを形成を可能とする金属用研磨液を提供する。【解決手段】金属の酸化剤、酸化金属溶解剤、保護膜形成剤及び水を含有する金属用研磨液の濃縮液を希釈することを特徴とする金属研磨方法。金属用研磨液の濃縮液に親水性基を有する保護膜形成剤を添加することが好ましい。
請求項（抜粋）：
金属の酸化剤、酸化金属溶解剤、保護膜形成剤及び水を含有する金属用研磨液の濃縮液を希釈して使用することを特徴とする金属研磨方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 622
, C09K 3/14 550
, C23F 1/18
H01L 21/304 622 C
, C09K 3/14 550 Z
, C23F 1/18
4K057WA02
, 4K057WB04
, 4K057WE01
, 4K057WE02
, 4K057WE03
, 4K057WE04
, 4K057WE11
, 4K057WE12
, 4K057WE13
, 4K057WE14
, 4K057WE15
, 4K057WE21
, 4K057WE23
, 4K057WE25
, 4K057WF10
, 4K057WG03
, 4K057WN01
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (3件)
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