特許
J-GLOBAL ID：200903092713302748

レブリン酸アミド類を用いたレジスト剥離剤、溶剤、洗浄剤

発明者：
松尾 茂

松尾 茂 について


出願人/特許権者：
出光興産株式会社

出光興産株式会社 について


代理人 (1件)： 渡辺 喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-186209
公開番号（公開出願番号）：特開2008-015218
出願日： 2006年07月06日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：
【課題】レジスト剥離の性能に優れるレジスト剥離剤及び優れた溶解力を有する溶剤及び洗浄剤を提供する。【解決手段】下記式で表されるレブリン酸アミド類、又はこのレブリン酸アミド類と水を含むレジスト剥離剤。CH3-CO-CH2CH2-CO-NR1R2(式中、R1及びR2はそれぞれ独立に水素原子又は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同一であっても異なっていてもよく、さらに互いに結合して環構造を形成してもよい。)【選択図】無し
請求項（抜粋）：
下記式で表されるレブリン酸アミド類、又はこのレブリン酸アミド類と水を含むレジスト剥離剤。 CH3-CO-CH2CH2-CO-NR1R2 (式中、R1及びR2はそれぞれ独立に水素原子又は炭素数1〜6の炭化水素基であり、互いに同一であっても異なっていてもよく、さらに互いに結合して環構造を形成してもよい。)
IPC (5件)：
G03F 7/42 ,  C11D 7/50 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/027 ,  C23G 5/024
FI (5件)：
G03F7/42 ,  C11D7/50 ,  H01L21/304 647A ,  H01L21/30 572B ,  C23G5/024
Fターム (11件)：
2H096AA25 ,  2H096AA28 ,  2H096LA03 ,  4H003DA09 ,  4H003DA15 ,  4H003ED02 ,  4H003ED31 ,  4H003FA15 ,  4K053QA07 ,  4K053RA32 ,  5F046MA02
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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