表面・体積抵抗測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：草野卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-254059
公開番号（公開出願番号）：特開2000-088901
出願日： 1998年09月08日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】【課題】部品の交換を容易に行うことができる構造とした表面・体積抵抗測定装置を提供する。【解決手段】ケース22の底面に装着した絶縁台円上において円盤状の主電極11と、この主電極の周囲を囲んで配置したリング電極12とが設けられ、これらの電極の上に試料13を乗せ、試料の上に対向電極14を配置し、主電極とリング電極との間に直流電圧を印加して試料の表面抵抗を測定し、主電極と対向電極間に直流電圧を印加して試料の体積抵抗を測定する表面・体積抵抗測定装置において、ケース22の底面側から位置決め手段30を突出させ、この位置決め手段により対向電極14を着脱自在に支持する構造とし、対向電極に被覆した導電ゴム18の交換を容易に行うことができる構造にした。

請求項（抜粋）：

開閉蓋を具備したケース内に絶縁台が設けられ、この絶縁台上に円盤形状の主電極と、この主電極を取り囲んで配置されたリング電極とが搭載され、これら主電極とリング電極に跨って試料を載置し、この試料の上に対向電極を配置し、上記主電極とリング電極との間又は主電極と対向電極間に直流電圧を印加し主電極とリング電極との間を流れる電流又は主電極と対向電極との間を流れる電流を測定して試料の表面抵抗及び体積抵抗を測定する表面・体積抵抗測定装置において、上記ケースに、上記対向電極の位置を決定する位置決め手段と、この位置決め手段によって位置決めされた対向電極に直流電圧を与える給電手段とを設け、上記対向電極を上記ケースに対して着脱自在に装着した構造としたことを特徴とする表面・体積抵抗測定装置。

Fターム (11件)：

2G028AA02 , 2G028AA04 , 2G028BC01 , 2G028CG01 , 2G028CG02 , 2G028DH03 , 2G028FK02 , 2G028HM05 , 2G028HN01 , 2G028HN10 , 2G028MS05

引用特許：

審査官引用 (3件)

体積・表面抵抗率測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-072340 出願人：横河・ヒューレット・パッカード株式会社
ICソケット
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-083550 出願人：松下電子工業株式会社
プローブカード
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-200736 出願人：九州日本電気株式会社

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