高度な空間分解能の赤外線エリプソメータ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：筒井大和 , 小塚善高
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-512641
公開番号（公開出願番号）：特表2004-504591
出願日： 2001年06月28日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】高度な空間分解能のエリプソメータを提供する。【解決手段】本発明は、少なくとも赤外線放射を供給する光源Sと、サンプルホルダPEと、センサDと、偏光された光ビームを使って斜め視界でサンプルホルダ上のサンプルを照射するために光源SとサンプルホルダPEとの間に取付けられる第1光学装置と、サンプルで反射された光を集光するためにサンプルホルダPEとセンサDとの間に取付けられる第2光学装置とを有するエリプソメータに関する。このエリプソメータは、第2光学装置の集光デバイスM2の焦点面で反射経路に取付けられ、サンプルの後面FARから得られる寄生光線RPを阻止するように、かつ、サンプルの前面FAVから得られる有用光線RUをセンサDに向けて通すのを許容するように変更されたブロッキングデバイスF2を更に有し、それによってサンプルの前面および後面に対しての分解能を得ることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの赤外線ビームを供給する光放射源(S)と、所定厚の透明または半透明サンプル(ECH)を搬送するようにされ、前面(FAV)および後面(FAR)を備えるサンプルホルダ(PE)と、検出器(D)と、前記光放射源(S)と前記サンプルホルダ(PE)との間に取付けられ、前記サンプルホルダに配置された前記サンプルを、偏光された光ビームにより斜め入射で照射するために、偏光子(P)および集光デバイス(M1)を備える第1光学装置と、前記サンプルホルダ(PE)と前記検出器(D)との間に取付けられ、前記サンプルによって反射された光を集光するために集光デバイス(M2)およびアナライザ(A)を備える第2光学装置とを有するタイプのエリプソメータデバイスであって、前記エリプソメータデバイスが、前記第2光学装置の前記集光デバイス(M2)の焦点面で反射経路に取付けられ、前記サンプルの前記後面(FAR)で放射された迷放射線(RP)を阻止可能にし、前記サンプルの前面(FAV)で放射された有用放射線(RU)を前記検出器(D)に向けて通過可能とするブロッキングデバイス(F2)をさらに有し、それによって前記サンプルの前面および後面に対して分離力を得ることが可能であることを特徴とするエリプソメータデバイス。

IPC (1件)：

G01J4/04

FI (1件)：

G01J4/04 A

Fターム (18件)：

2G059AA02 , 2G059BB08 , 2G059CC20 , 2G059EE05 , 2G059EE12 , 2G059GG01 , 2G059GG04 , 2G059GG08 , 2G059GG09 , 2G059HH01 , 2G059HH06 , 2G059JJ07 , 2G059JJ13 , 2G059JJ19 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2G059LL04 , 2G059NN01

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-231103
高空間分解能エリプソメトリー装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-508980 出願人：ソシエテ・ドゥ・プロデュクシオン・エ・ドゥ・ルシェルシェ・アプリケ
特開平3-231103

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