ラクトン構造を有する化合物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐伯憲生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-114111
公開番号（公開出願番号）：特開2004-315465
出願日： 2003年04月18日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】本発明は、レジスト材料等としてより優れた特性を有するポリマーを与える、ラクトン構造を有する新規モノマー化合物を提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明は、下記一般式[1]【化1】(式中、R1及びR2は、何れか一方はメチル基を表し、他方はイソプロピル基を表す。R3及びR4は、何れか一方は水素原子を表し、他方は水酸基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。R5及びR6は、それぞれ独立して水素原子又はアルキル基を表す。Xは-(R7)(R8)C-C(R9)(R10)-を表し、R7、R8、R9及びR10は、それぞれ独立して水素原子又はアルキル基を表す。)で示される化合物に関する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：