基板の保持装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩原康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-329513
公開番号（公開出願番号）：特開平11-145260
出願日： 1997年11月13日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】将来的な基板の使用の変化に対応し,溝に基板が挿入されても基板が倒れず,発塵しない基板の保持装置を提供する。【解決手段】入口部35と中間部36と先端部37から構成される溝46において,入口部35の幅をウェハWの厚さtよりも十分に広くすると共に,入口部35近傍と先端部37近傍とを先端部37に行くほど幅が狭くなるテーパ面に形成する。先端部37近傍のテーパ面を略V形状とすることで,挿入されたウェハWの周縁部は先端部37近傍の内壁の間で横方向からもしっかりと保持される。入口部35と中間部36との境界付近の溝幅kはウェハWの厚さtよりも広く,ウェハWの2倍の厚さ2tよりも狭く形成するため溝46に複数枚のウェハWが挿入されない。

請求項（抜粋）：

並列に並んだ複数枚の基板の周縁をそれぞれ溝に入れた状態で保持する保持装置において,少なくとも前記溝の先端部近傍を先端部に行くほど次第に間隔が狭くなる略V形状のテーパ面に構成し,前記溝の先端部の幅を基板の厚さよりも狭くしたことを特徴とする基板の保持装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/304 648

FI (2件)：

H01L 21/68 N , H01L 21/304 648 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

ウェハキャリア
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-166325 出願人：新日本製鐵株式会社
基板保持具及び洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-019820 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
ウェーハ受台
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-251463 出願人：株式会社カイジョー

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