特許
J-GLOBAL ID:200903092989054187
D/A変換回路及び半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-173956
公開番号(公開出願番号):特開2002-368111
出願日: 2001年06月08日
公開日(公表日): 2002年12月20日
要約:
【要約】【課題】 高いビット数のデジタル信号に対応し、線形性が良く、占有面積の小さいD/A変換回路を提供する。【解決手段】 複数の容量を有するD/A変換回路であって、複数の容量は、第1電極と、第1電極に接している第1誘電体と、第1誘電体に接している第2電極と、第2電極に接している第2誘電体と、第2誘電体に接している第3電極とをそれぞれ有しており、第2電極は、第1電極及び第3電極と重なっており、第2電極は、第1電極及び第3電極と重なっている部分において開口部を有しており、第2電極が有する開口部において、第1誘電体及び第2誘電体にコンタクトホールが形成されており、コンタクトホールを介して第1電極と第3電極が接続されていることを特徴とするD/A変換回路。
請求項(抜粋):
複数の容量を有するD/A変換回路であって、前記複数の容量は、第1電極と、前記第1電極に接している第1誘電体と、前記第1誘電体に接している第2電極と、前記第2電極に接している第2誘電体と、前記第2誘電体に接している第3電極とをそれぞれ有しており、前記第2電極は、前記第1電極及び前記第3電極と重なっており、前記第2電極は、前記第1電極及び前記第3電極と重なっている部分において開口部を有しており、前記第2電極が有する開口部において、前記第1誘電体及び前記第2誘電体にコンタクトホールが形成されており、前記コンタクトホールを介して前記第1電極と前記第3電極が接続されていることを特徴とするD/A変換回路。
IPC (5件):
H01L 21/822
, H01L 27/04
, H01L 27/08 331
, H01L 29/786
, H03M 1/66
FI (6件):
H01L 27/08 331 E
, H03M 1/66 E
, H01L 27/04 C
, H01L 27/04 F
, H01L 29/78 612 B
, H01L 29/78 614
Fターム (76件):
5F038AC04
, 5F038AC05
, 5F038AC15
, 5F038AC18
, 5F038AV06
, 5F038DF03
, 5F038EZ06
, 5F038EZ20
, 5F048AB10
, 5F048AC04
, 5F048BA16
, 5F048BB09
, 5F048BB12
, 5F048BC06
, 5F048BD04
, 5F048BF16
, 5F110AA04
, 5F110BB02
, 5F110BB04
, 5F110BB20
, 5F110CC02
, 5F110DD01
, 5F110DD02
, 5F110DD03
, 5F110DD13
, 5F110DD14
, 5F110DD15
, 5F110DD17
, 5F110DD24
, 5F110EE01
, 5F110EE04
, 5F110EE05
, 5F110EE06
, 5F110EE08
, 5F110EE14
, 5F110FF02
, 5F110FF23
, 5F110GG02
, 5F110GG12
, 5F110GG13
, 5F110GG32
, 5F110GG43
, 5F110GG44
, 5F110GG45
, 5F110GG51
, 5F110GG52
, 5F110HJ01
, 5F110HJ04
, 5F110HJ12
, 5F110HJ23
, 5F110HL04
, 5F110HL06
, 5F110HL12
, 5F110HL23
, 5F110HM15
, 5F110NN03
, 5F110NN04
, 5F110NN22
, 5F110NN23
, 5F110NN24
, 5F110NN27
, 5F110NN72
, 5F110NN73
, 5F110PP01
, 5F110PP02
, 5F110PP03
, 5F110PP34
, 5F110PP35
, 5F110QQ11
, 5F110QQ21
, 5J022AB07
, 5J022BA05
, 5J022BA06
, 5J022BA07
, 5J022CF07
, 5J022CG01
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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