紫外線照射装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-112897
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295500
出願日： 1998年04月09日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】紫外線による反応生成物が窓部材に付着することなく、紫外線放射強度の低下を防止し、この反応生成物による塵の発生を防止する。【解決手段】容器1内部に誘電体バリア放電ランプ2が配置され、該容器1に前記誘電体バリア放電ランプ2から放射される紫外線を取り出す窓部材3が形成されてなる紫外線照射装置において、前記窓部材3を100°C以上に加熱する加熱手段が設けられていることを特徴とする紫外線照射装置。

請求項（抜粋）：

容器内部に誘電体バリア放電ランプが配置され、該容器に前記誘電体バリア放電ランプから放射される紫外線を取り出す窓部材が形成されてなる紫外線照射装置において、前記窓部材を100°C以上に加熱する加熱手段が設けられていることを特徴とする紫外線照射装置。

IPC (3件)：

G21K 5/00 , H01L 21/3065 , H01L 21/304 645

FI (3件)：

G21K 5/00 Z , H01L 21/304 645 D , H01L 21/302 H

引用特許：

審査官引用 (6件)

被処理物体表面または当該表面上の物質を減圧下で酸化する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-248305 出願人：ウシオ電機株式会社
特開昭62-127469
特開平2-058214

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