特許
J-GLOBAL ID：200903093023260402
リペア方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 村松 貞男
, 風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-338486
公開番号（公開出願番号）：特開2005-103581
出願日： 2003年09月29日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：
【課題】レーザ光の断面形状を複雑な形状の欠陥部に対応して整形して欠陥部を正確にかつ高速にリペアを行うこと。【解決手段】ガラス基板2上の欠陥部Gを撮像して取得された欠陥画像データDsから欠陥部Gの形状データを抽出し、この形状データに従ってDMDユニット16の各微小ミラー19を高速に角度制御し、これら微小ミラー19で反射したレーザ光rの断面形状を欠陥部Gの形状に略一致させて欠陥部Gに照射する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レーザ光源から出力されたレーザ光を、複数縦横方向に配列してなる各微小ミラーを有するデジタルミラーデバイス群に入射し、
このデジタルミラーデバイス群の各微小ミラーをそれぞれ角度制御して、前記各微小ミラーにより前記レーザ光の断面形状をリペア対象の形状に整形し、
この整形された前記レーザ光を前記リペア対象に照射して当該リペア対象をリペアすることを特徴とするリペア方法。
IPC (5件)：
B23K26/06
, B23K26/00
, B23K26/02
, G02B27/18
, H01L21/027
B23K26/06 E
, B23K26/06 Z
, B23K26/00 P
, B23K26/02 C
, G02B27/18 Z
, H01L21/30 502W
4E068AC01
, 4E068CA01
, 4E068CB02
, 4E068CB08
, 4E068CC02
, 4E068CD05
, 4E068CD12
, 4E068DA09
出願人引用 (2件)
審査官引用 (8件)
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