特許
J-GLOBAL ID：200903093068375391
基板収容器内の基板検出装置及びその装置を備えた基板搬入搬出装置並びにその基板搬入搬出装置を備えた基板処理装置
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-109352
公開番号（公開出願番号）：特開平10-303283
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 基板を汚染せず、基板収容器の周囲に障害物があっても基板収容器内の基板の収容状態を検出する。【解決手段】 基板収容器1内の基板Wの収容状態をCCDカメラ3で撮影して画像メモリ4に記憶する。画像解析部5はCCDカメラ3で撮影され画像メモリ4に記憶された画像情報を解析して基板収容器1内の基板Wの収容状態を検出する。
請求項（抜粋）：
複数枚の基板を収容可能な基板収容器内の基板の収容状態を検出する基板収容器内の基板検出装置であって、前記基板収容器内の基板の収容状態を撮影する撮影手段と、前記撮影手段によって撮影された画像情報を解析して前記基板収容器内の基板の収容状態を検出する画像解析手段と、を備えたことを特徴とする基板収容器内の基板検出装置。
引用特許：
前のページに戻る
