特許
J-GLOBAL ID:200903093074605935
反射下地感光性エレメント
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-286023
公開番号(公開出願番号):特開2004-125869
出願日: 2002年09月30日
公開日(公表日): 2004年04月22日
要約:
【課題】微小欠陥を低減させ、反射下地感光性樹脂層のパターニング工程やその後工程での製造歩留りを向上させ、部品の信頼性を向上することができる反射下地感光性エレメントを提供する。【解決手段】(a)凹凸形成層支持体フィルム、(b)反射下地感光性樹脂層及び(c)保護フィルムの順に積層された反射下地感光性エレメントにおいて、(c)保護フィルムがアクリルポリマを主成分とする反射下地感光性エレメント。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
(a)凹凸形成層支持体フィルム、(b)反射下地感光性樹脂層及び(c)保護フィルムの順に積層された反射下地感光性エレメントにおいて、(c)保護フィルムがアクリルポリマを主成分とすることを特徴とする反射下地感光性エレメント。
IPC (3件):
G03F7/004
, G02B5/02
, G02F1/1335
FI (3件):
G03F7/004 512
, G02B5/02 B
, G02F1/1335 520
Fターム (21件):
2H025AA18
, 2H025AB13
, 2H025AB14
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025CA00
, 2H025DA01
, 2H025EA08
, 2H042BA03
, 2H042BA12
, 2H042BA13
, 2H042BA20
, 2H091FA16Y
, 2H091FA16Z
, 2H091FB02
, 2H091LA12
, 2H091LA30
, 2H091MA10
引用特許:
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