特許
J-GLOBAL ID:200903093107835907
検出装置、検出方法、及び光透過性部材
発明者:
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-189521
公開番号(公開出願番号):特開2008-107320
出願日: 2007年07月20日
公開日(公表日): 2008年05月08日
要約:
【課題】精度の低下を検出することができる検出装置、検出方法、及び光透過性部材を提供する。【解決手段】画像処理部38に含まれる畳み込み演算部80によって畳み込み演算を行なうことにより、誘電体ブロック52の界面において全反射されるように複数の角度で誘電体ブロック52に入射されて当該界面において全反射された光ビームの光強度分布を示す分布情報を取得し、画像処理部38に含まれる検出精度評価部86により、取得した分布情報により示される光強度分布に対して空間周波数分解を行なって光ビームの各空間周波数毎の光強度分布を導出し、導出した光強度分布を各空間周波数毎に予め定められた閾値と比較することにより精度を検出する。【選択図】図10
請求項(抜粋):
光ビームに対して透過性を有する光透過性部材の界面において全反射されるように複数の角度で前記光透過性部材に入射されて当該界面において全反射された光ビームの光強度分布を示す分布情報を取得する取得手段と、
前記取得手段により取得された前記分布情報により示される光強度分布に対して空間周波数分解を行なって光ビームの各空間周波数毎の光強度分布を導出する導出手段と、
前記導出手段により導出された光強度分布を各空間周波数毎に予め定められた閾値と比較することにより精度の検出を行なう検出手段と、
を備えた検出装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (9件):
2G059AA01
, 2G059BB04
, 2G059BB12
, 2G059CC16
, 2G059EE02
, 2G059JJ12
, 2G059JJ19
, 2G059KK04
, 2G059MM05
引用特許:
前のページに戻る