静電浮上型搬送装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-072137
公開番号（公開出願番号）：特開平10-271862
出願日： 1997年03月25日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】粉体(パーティクル)の発生を低減するために、被搬送物を水平方向に対して傾斜させた状態で非接触に支持するとともに、この状態を保持しながら搬送させることが可能な静電浮上型搬送装置を提供する。【解決手段】被搬送物501を静電吸着力により非接触状態で保持するための静電力発生用電極204を備えた絶縁基板202を立設してなる保持装置201と、この保持装置201の静電力発生用電極204への印加電圧を調整する制御部と、前記被搬送物501を支持する支持部材206を備えてなり、この支持部材206を前記保持装置201に沿って移動させるスライド機構とを設ける。

請求項（抜粋）：

被搬送物を静電吸着力により非接触状態で保持するための静電力発生用電極を備えた絶縁基板を立設してなる保持装置と、該保持装置の静電力発生用電極への印加電圧を調整する制御部と、前記被搬送物を支持する支持部材を備えてなり、該支持部材を前記保持装置に沿って移動させるスライド機構とからなる静電浮上型搬送装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-164288
基板搬送装置およびその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-259589 出願人：株式会社日立製作所
基板洗浄・乾燥装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-211460 出願人：東京エレクトロン株式会社

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