特許

J-GLOBAL ID：200903093152143854

処理装置を駆動するソフトウェアの自己診断方法

発明者： 田原 計志 ,  小尾 章
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-222615
公開番号（公開出願番号）：特開2002-041328
出願日： 2000年07月24日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
要約：

【要約】【課題】 装置における異常発生や,被処理体へのダメージを回避可能な,処理装置を駆動するソフトウェアの自己診断方法を提供すること。【解決手段】 装置の駆動が開始されると,装置を駆動するソフトウェアの稼動状態をリアルタイムに監視し,異常が発生していないか診断する(S10)。S10の診断で異常が発生していないと判断された場合は,被処理体に対する処理はそのまま続けられ,被処理体に対する処理が完了したかどうかの判断に入る(S30)。処理が完了した場合は,装置をダウン処理する(S40)。S10の診断で異常が発生したと判断された場合は,異常が発生した診断項目に関するログを記録する(S20)。その後,装置をダウン処理する(S40)。

請求項（抜粋）：

処理装置を駆動するソフトウェアの自己診断方法であって,処理装置を駆動するソフトウェアの稼動状態を予め設定された診断項目に従ってリアルタイムで監視する監視工程と,前記監視工程において前記ソフトウェアの異常を検出した場合に,前記異常が発生した診断項目に関するログを記録した後に,処理装置のダウン処理を実施する工程と,を含むことを特徴とする,処理装置を駆動するソフトウェアの自己診断方法。

IPC (3件)：

G06F 11/30 305 ,  G05B 23/02 ,  G06F 11/22 360

FI (3件)：

G06F 11/30 305 D ,  G05B 23/02 V ,  G06F 11/22 360 A

Fターム (11件)：

5B042GB06 ,  5B042JJ15 ,  5B042KK03 ,  5B042KK07 ,  5B042LA13 ,  5B042MC29 ,  5B048CC11 ,  5H223AA05 ,  5H223CC08 ,  5H223EE15 ,  5H223EE19

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-034037
  
• 半導体装置の製造方法、半導体製造装置、物品の搬送方法及び装置、並びに運動伝達方法及び関節機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-023663   出願人：株式会社日立製作所
• 燃焼制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-293250   出願人：東芝ホームテクノ株式会社