特許
J-GLOBAL ID：200903093158184595

電子線を用いた検査方法および検査装置

発明者：
宮井 裕史

宮井 裕史 について

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船津 隆一

船津 隆一 について

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二宮 拓

二宮 拓 について

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奈良 安彦

奈良 安彦 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-280142
公開番号（公開出願番号）：特開2004-117130
出願日： 2002年09月26日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：
【課題】検査で抽出された多数の欠陥から所望の欠陥を抽出することができる電子線を用いた検査方法および検査装置を提供する。【解決手段】パターンが形成された試料に電子線を照射し、試料から発生する二次電子または反射電子に基づき検査画像および参照画像を生成し、検査画像と参照画像の画素毎の階調値の差分から異常部を求め、異常部の画像から当該異常部の特徴量を複数求め、複数求めた異常部の特徴量の分布に基づいて異常部の種類を分類する範囲が指定される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
パターンが形成された試料に電子線を照射し、前記試料から発生する二次電子または反射電子に基づき検査画像および参照画像を生成し、前記検査画像と前記参照画像の画素毎の階調値の差分から異常部を求め、該異常部の画像から当該異常部の特徴量を複数求め、該複数求めた異常部の特徴量の分布に基づいて該異常部の種類を分類する範囲が指定されることを特徴とする電子線を用いた検査方法。
IPC (6件)：
G01N23/225 ,  G06T1/00 ,  G06T7/00 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01L21/66
FI (6件)：
G01N23/225 ,  G06T1/00 305A ,  G06T7/00 300F ,  H01J37/22 502H ,  H01J37/28 B ,  H01L21/66 J
Fターム (45件)：
2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001CA03 ,  2G001FA06 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA01 ,  2G001HA07 ,  2G001HA13 ,  2G001HA20 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001KA03 ,  2G001LA02 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001RA08 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB05 ,  4M106DB18 ,  4M106DJ26 ,  5B057AA03 ,  5B057BA11 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA03 ,  5B057DA08 ,  5B057DA12 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC30 ,  5B057DC32 ,  5C033UU05 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096CA18 ,  5L096GA02 ,  5L096GA08 ,  5L096JA11 ,  5L096JA18 ,  5L096JA28
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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