光子装置の密閉封止方法と装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-592918
公開番号（公開出願番号）：特表2002-534813
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2002年10月15日
要約：

【要約】密閉封止光子装置サブマウントは基板材上に取付て柔軟な密閉封止内に封止された光子装置を含む。一形態において光子装置は基板材を介して発光あるいは受光する形状とされる。この形態では接着剤層とその上に付着した金属層とで覆われる。他の形態では光子装置は基板材からほぼ垂直上方向に発光あるいは受光する形状とされる。この形態においては光子装置にカバーが掛けられ、次いでカバーば接着剤層とその上に付着した金属層とによって基板材に密閉封止される。いずれの形態においても複数の光子装置サブマウントを別個のパッケージを用いずに基板材上に、本発明の多種の形式に従って密閉封止される。従って所望数の密閉封止光子装置のサブマウントを本発明を用いてウェーハ上に大量生産し得る。

請求項（抜粋）：

上面を有する基板材と、基板材上面に取付た光子装置と、基板材上面の光子装置を密閉封止する密閉封止部とを備える密閉封止付き光子装置サブマウント。

IPC (3件)：

H01S 5/022 , H01L 23/28 , H01L 31/02

FI (3件)：

H01S 5/022 , H01L 23/28 D , H01L 31/02 B

Fターム (18件)：

4M109AA01 , 4M109AA02 , 4M109BA03 , 4M109DA01 , 4M109DB14 , 4M109EE01 , 4M109EE03 , 4M109GA01 , 5F073AB17 , 5F073BA01 , 5F073EA29 , 5F073FA11 , 5F073FA18 , 5F073FA29 , 5F088BB01 , 5F088JA03 , 5F088JA07 , 5F088JA20

引用特許：

審査官引用 (7件)

一体化レーザ・ベース光源
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-011035 出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー
特開昭57-005083
半導体発光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-055661 出願人：ローム株式会社

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