特許
J-GLOBAL ID：200903093270925859
迅速スワップロードポート
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-523861
公開番号（公開出願番号）：特表2008-508731
出願日： 2005年07月29日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
要約：
材料加工の間における自動材料ハンドリングシステム(例えば111/112)の積載量低減装置及び方法が開示される。1個以上のロードポート(104A)/(104B)を備えた材料加工ツール(102)には、ツール(102)の前端部に取り付けられる少なくとも1個の可動バッファ(106A)/(106B)が装備される。バッファ(106A)/(106B)は保管位置(108A)/(108B)において、自動材料ハンドリングシステム(例えば111/112)から材料ポッド(101)を受け取ると共に、1個又はそれより多くのロードポート(104A)/(104B)の1個以上へポッド(101)を移動させ、及び/又は1個又はそれより多くのロードポート(104A)/(104B)の1個以上からポッドを受け取り、ポッドを保管位置(108A)/(108B)へ移動させるように構成される。バッファ(106A)/(106B)のいかなるポッド(101)へも、手により或いは材料ハンドリングシステム(例えば111/112)によって接近可能である。
請求項（抜粋）：
自動材料ハンドリングシステムの材料加工の間における積載量削減装置であって、
1個又はそれ以上のロードポートを備えた前端部を有する材料加工ツールと、
前記前端部に取り付けられる少なくとも1個の可動バッファとを含み、該バッファは保管位置において前記自動材料ハンドリングシステムから材料ポッドを受け取ると共に、該ポッドを前記1個又はそれ以上のロードポートの1個以上へ移動させるように構成され、及び/または該バッファは該ポッドを該1個又はそれ以上のロードポートの1個以上から受け取ると共に、該ポッドを前記保管位置へ移動させるように構成されており、
前記バッファのいかなるポッドへも、手により或いは材料ハンドリングシステムによって接近可能である
ことを特徴とする装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 A
, B65G49/07 L
5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031DA17
, 5F031FA03
, 5F031FA07
, 5F031FA14
, 5F031FA15
, 5F031GA02
, 5F031GA42
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031GA51
, 5F031GA58
, 5F031MA03
, 5F031MA15
, 5F031MA33
, 5F031PA02
