特許

J-GLOBAL ID：200903075113697674

ウェハー搬送容器用オープナー及びこれを備えたウェハー処理装置

発明者： 大関 亮 ,  佐藤 豊 ,  小野寺 郷
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー ,  株式会社ダイナミックス
代理人 (1件)： 藤井 紘一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-368335
公開番号（公開出願番号）：特開2003-168714
出願日： 2001年12月03日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：

【要約】【課題】 移送されてきたウェハー搬送容器を、簡単な機構により載置台に位置決め載置することのできるウェハー搬送容器用オープナーと、これを備えたウェハー処理装置の提供にある。【解決手段】 ウェハーを密閉状態で搬送するためのウェハー搬送容器60を載置台12に載置してウェハーの収納あるいは取り出しの際に蓋体62を開閉するウェハー搬送容器用オープナー10であって、前記オープナーの載置台12に、載置されたウェハー搬送容器60を昇降させる昇降機構20を備えた。そして、この昇降機構20は、載置台12に載置されたウェハー搬送容器60の左右両側部を支持して昇降するように構成した。

請求項（抜粋）：

ウェハーを密閉状態で搬送するためのウェハー搬送容器を載置台に載置してウェハーの収納あるいは取り出しの際に蓋体を開閉するウェハー搬送容器用オープナーであって、前記オープナーの載置台に、載置されたウェハー搬送容器を昇降させる昇降機構を備えたことを特徴とするウェハー搬送容器用オープナー。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/00 ,  B65G 49/07

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 T ,  B65G 49/00 A ,  B65G 49/07 L

Fターム (12件)：

5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA49 ,  5F031KA20 ,  5F031MA23

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 容器の搬入出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-363197   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 移替装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-250579   出願人：三菱電機株式会社
• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-331465   出願人：株式会社日立製作所