特許

J-GLOBAL ID：200903093273469064

電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器

発明者： 米山 良一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-063535
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258797
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 遮光膜を有する電気光学装置において、遮光膜の所望の遮光性を維持したままトランジスタにかかる応力を低減し、所望のトランジスタ特性を得ること。【解決手段】 第1遮光膜11aのうち少なくともTFT30のチャネル領域1a’を覆う位置の部分203の厚さは厚いので、十分な遮光性が得られ、光電流が発生することは皆無となる。その一方で、第1遮光膜11a’のうちTFT30のチャネル領域1a’を覆う位置の部分203以外の他の部分の厚さは薄いので、第1遮光膜11a’全体として厚さが厚い部分の面積が小さくなり、第1遮光膜11a’内に保有する応力を小さくすることできる。従って、TFT30にかかる応力が小さくなり、トランジスタ特性を所望のものとすることができる。

請求項（抜粋）：

基板上に複数の走査線と、複数のデータ線と、前記各走査線と前記各データ線に接続されたトランジスタと、前記トランジスタに接続された画素電極と、前記トランジスタの少なくともチャネル領域に対向する位置に設けられた遮光膜とを有する電気光学装置であって、前記遮光膜のうち少なくとも前記トランジスタのチャネル領域に対向する部分の厚さは、他の部分の厚さと比べて厚いことを特徴とする電気光学装置。

Fターム (41件)：

2H092GA29 ,  2H092HA04 ,  2H092HA06 ,  2H092JA25 ,  2H092JA26 ,  2H092JA46 ,  2H092JB64 ,  2H092JB69 ,  2H092KA04 ,  2H092KA05 ,  2H092KB04 ,  2H092KB21 ,  2H092KB25 ,  2H092MA05 ,  2H092MA13 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA25 ,  2H092MA27 ,  2H092MA29 ,  2H092MA41 ,  2H092NA01 ,  2H092NA07 ,  2H092NA15 ,  2H092NA17 ,  2H092NA24 ,  2H092NA28 ,  2H092NA29 ,  2H092PA01 ,  2H092PA02 ,  2H092PA06 ,  2H092PA07 ,  2H092PA08 ,  2H092PA09 ,  2H092PA10 ,  2H092PA11 ,  2H092PA12 ,  2H092PA13 ,  2H092QA07 ,  2H092QA10 ,  2H092RA05

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 薄膜トランジスタおよび薄膜トランジスタアレイ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-320506   出願人：日本電気株式会社
• アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-318402   出願人：シャープ株式会社