特許
J-GLOBAL ID：200903093316172206

プロセス監視装置及びその方法

発明者：
山中 理

山中 理 について

, 
クリスチャン・ローゼン

クリスチャン・ローゼン について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-249816
公開番号（公開出願番号）：特開2007-065883
出願日： 2005年08月30日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：
【課題】PCAを利用するプロセス系の異常診断機能を備えたプロセス監視装置において、異常診断における異常検出精度を向上できるようにして、実際的かつ有用なプロセス監視装置を提供することにある。【解決手段】PCAとウェーブレット変換を組み合わせた異常検出処理を行なうプロセス監視装置において、データ保存部2に保存されたプロセス時系列データを使用して、PCAによるプロセス監視モデルを構築するモデル構築部4と、プロセス監視モデル及びプロセス時系列データを使用してQ統計量またはホテリングT2分散の統計量データを算出するプロセス監視部51、統計量データに対してウェーブレット変換処理を実行し、複数の時間関数データに分解するプロセス監視部52と、複数の時間関数データに基づいてプロセス異常を診断するプロセス診断部6とを備えた構成である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
対象プロセスの状態または操作量を計測する計測手段と、 前記計測手段から得られる計測結果を示すプロセス時系列データを保存するデータ保存手段と、 前記データ保存部に保存された前記プロセス時系列データを使用して、主成分分析方式によるプロセス監視モデルを構築するモデル構築手段と、 前記プロセス監視モデル及び前記プロセス時系列データを使用して、Q統計量またはホテリングT2分散の統計量データを算出する計算手段と、 前記計算手段により算出された前記統計量データに対して、ウェーブレット変換処理を実行し、複数の時間関数データに分解するデータ分解手段と、 前記データ分解手段から得られる複数の時間関数データに基づいて、前記対象プロセスの異常を診断する異常診断手段と を具備したことを特徴とするプロセス監視装置。
IPC (2件)：
G05B 23/02 ,  G01D 21/00
FI (5件)：
G05B23/02 302V ,  G05B23/02 V ,  G05B23/02 301Y ,  G05B23/02 302Y ,  G01D21/00 Q
Fターム (15件)：
2F076BA13 ,  2F076BA19 ,  2F076BD13 ,  2F076BD14 ,  2F076BD16 ,  2F076BE04 ,  2F076BE07 ,  2F076BE08 ,  2F076BE09 ,  5H223AA01 ,  5H223DD03 ,  5H223DD09 ,  5H223EE06 ,  5H223EE29 ,  5H223FF05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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