特許

J-GLOBAL ID：200903093339871055

F2エキシマレーザー光学部材用石英ガラス材料及び光学部材

発明者： 大橋 宣夫 ,  藤ノ木 朗 ,  西村 裕幸 ,  細野 秀雄 ,  小川 透
出願人/特許権者： 信越石英株式会社 ,  株式会社半導体先端テクノロジーズ
代理人 (1件)： 高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-371654
公開番号（公開出願番号）：特開2000-239040
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
要約：

【要約】【課題】 F2エキシマレーザーの発振波長での光透過率が高く、F2エキシマレーザー照射に対する耐レーザー性が高い光学部材用石英ガラス材料及び光学部材の提供。【解決手段】 光学部材用石英ガラス材料及び光学部材であって、OH基濃度が5ppm以下、フッ素を0.1〜2mol%含有し、水素濃度を5×1016分子/cm3以下とし、好ましくは更に屈折率の最大値と最小値の差Δnが2×10-5以下としたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

OH基濃度が5ppm以下、フッ素濃度が0.1〜2mol%、水素濃度が5×1016分子/cm3以下であることを特徴とするF2 エキシマレーザー光学部材用合成石英ガラス材料及び光学部材。

IPC (3件)：

C03C 3/06 ,  C03B 20/00 ,  G02B 1/00

FI (3件)：

C03C 3/06 ,  C03B 20/00 F ,  G02B 1/00

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 透明石英ガラスとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-042252   出願人：旭硝子株式会社