特許

J-GLOBAL ID：200903093358676697

半導体カーボン膜、半導体素子、及び半導体カーボン膜の製造方法

発明者： 川井 正一
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 名古屋国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-014643
公開番号（公開出願番号）：特開2009-231810
出願日： 2009年01月26日
公開日（公表日）： 2009年10月08日
要約：

【課題】低コストかつ容易に製造でき、バンドキャップの制御が容易な半導体カーボン膜、半導体素子、及び半導体カーボン膜の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の半導体カーボン膜は、π結合を持ち、5員環、6員環、7員環のうち少なくともいずれかを含む多環炭素と、前記多環炭素に結合した水素及び/又は窒素と、から成り、前記多環炭素を100重量部としたとき、前記水素及び/又は窒素の量が、5〜20重量部であることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

π結合を持ち、5員環、6員環、7員環のうち少なくともいずれかを含む多環炭素の集合体と、 前記多環炭素に結合した水素及び/又は窒素と、から成り、 前記水素及び/又は窒素の含有量が、5〜20重量%であることを特徴とする半導体カーボン膜。

IPC (2件)：

H01L 31/04 ,  C23C 16/26

FI (2件)：

H01L31/04 L ,  C23C16/26

Fターム (35件)：

4G146AA01 ,  4G146AA15 ,  4G146AA16 ,  4G146AA17 ,  4G146AB07 ,  4G146AC27A ,  4G146AC27B ,  4G146AD24 ,  4G146AD30 ,  4G146BA11 ,  4G146BA12 ,  4G146BB05 ,  4G146BC02 ,  4G146BC08 ,  4G146BC33A ,  4G146BC33B ,  4G146BC34A ,  4K030AA01 ,  4K030AA09 ,  4K030AA17 ,  4K030BA27 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030JA10 ,  4K030KA02 ,  4K030LA16 ,  5F051AA02 ,  5F051CB13 ,  5F051CB14 ,  5F051CB18 ,  5F051CB24 ,  5F051DA03 ,  5F051FA02 ,  5F051FA06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光電変換素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-334641   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 光起電力素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-236594   出願人：財団法人理工学振興会