特許
J-GLOBAL ID：200903093486702340
角速度センサおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-061965
公開番号（公開出願番号）：特開2005-249645
出願日： 2004年03月05日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：
【課題】本発明は圧電体、角速度センサの小型化を実現することを目的とする。【解決手段】基板4が単結晶シリコンからなり、バリア層12はシリコン酸化膜からなり、第一の密着層5は少なくともチタンからなり、下部電極層6は少なくともチタンもしくは酸化チタンを含む白金からなることを特徴とする角速度センサ1である。これにより、角速度センサ1の小型化を実現することができる。すなわち、小面積でも圧電体特性の良好な圧電体薄膜を形成することができ、角速度センサ1の小型化を実現する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
少なくとも一対のアーム部とこのアーム部を連結する連結部とを有する音叉状の基板と、この基板の各アーム部上にバリア層と第一の密着層と下部電極層と配向制御層と圧電体薄膜と第二の密着層と上部電極とを順に積層した積層体とを備え、前記基板は単結晶シリコンからなり、前記バリア層はシリコン酸化膜からなり、前記第一の密着層は少なくともチタンからなり、前記下部電極層は少なくともチタンもしくは酸化チタンを含む白金からなる角速度センサ。
IPC (5件)：
G01C19/56
, G01P9/04
, H01L41/08
, H01L41/187
, H01L41/22
G01C19/56
, G01P9/04
, H01L41/08 Z
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 Z
2F105BB13
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
