特許
J-GLOBAL ID：200903093531459567

粒子状物質の荷電方法とその使用方法及び装置

発明者：
藤井 敏昭

藤井 敏昭 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (1件)： 吉嶺 桂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-208898
公開番号（公開出願番号）：特開2000-102743
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：
【要約】【課題】 粒子状物質の荷電を長時間安定して効果的に行うことができる空間中の粒子状物質の荷電方法とその装置を提供する。【解決手段】 被処理空間中10の粒子状物質11を荷電する装置において、光電子7を発生させる光電子放出材3と該光電子放出材に紫外線及び/又は放射線を照射する照射源1とを有し、微粒子濃度を100万個/ft3以下にする除塵手段12を有する清浄空間Aと、該清浄空間で発生した光電子を被処理空間に供給する供給手段9とを有する粒子状物質の荷電装置Bとしたものであり、さらに、前記清浄空間は、非メタン炭化水素濃度を0.1ppm以下にする除去手段を有するのが良く、前記被処理空間は、減圧又は真空の空間であっても良く、また、前記の清浄空間及び供給手段を一体化してユニット化することもできる。
請求項（抜粋）：
光電子放出材に、紫外線及び/又は放射線を照射することにより発生させた光電子を用いて、被処理空間中の粒子状物質を荷電する方法において、該被処理空間とは別に、微粒子濃度が100万個/ft3以下の清浄空間で光電子を発生させて、該光電子により前記被処理空間中の粒子状物質の荷電を行うことを特徴とする粒子状物質の荷電方法。
IPC (5件)：
B03C 3/38 ,  A61L 9/22 ,  B03C 3/02 ,  B03C 3/155 ,  B01J 35/02
FI (5件)：
B03C 3/38 ,  A61L 9/22 ,  B03C 3/02 A ,  B01J 35/02 J ,  B03C 3/14 A
引用特許：
審査官引用 (4件)
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