特許
J-GLOBAL ID：200903093551294173

赤外線イメージセンサ

発明者：
安藤 浩

安藤 浩 について

, 
樽見 浩幸

樽見 浩幸 について

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西井 克昌

西井 克昌 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-125843
公開番号（公開出願番号）：特開2001-304973
出願日： 2000年04月26日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：
【要約】【課題】環境温度が変化した場合にも安定した出力を得ることができる赤外線イメージセンサを提供する。【解決手段】シリコン基板11に、ボロメータ型センサ素子2aを多数並設したセンサアレイが形成されている。被温度測定物からの赤外線がセンサアレイに照射されてセンサアレイにおいて各ボロメータ型センサ素子2a毎の熱画像データが得られる。温度補償用素子30がセンサ素子2a毎にシリコン基板11でのセンサ素子2aに隣接した位置に作り込まれている。
請求項（抜粋）：
半導体基板に、熱型センサ素子を多数並設したセンサアレイが形成され、被温度測定物からの赤外線を前記センサアレイに照射して、当該センサアレイにおいて各熱型センサ素子毎の熱画像データを得るようにした赤外線イメージセンサにおいて、被温度測定物からの赤外線の影響を受けずに前記センサ素子の出力を温度補正するための温度補償用素子を、前記センサ素子毎に、前記半導体基板でのセンサ素子に隣接した位置または重なる位置に作り込んだことを特徴とする赤外線イメージセンサ。
IPC (6件)：
G01J 5/48 ,  G01V 8/10 ,  H01L 27/14 ,  H01L 37/02 ,  H04N 1/028 ,  H04N 5/33
FI (8件)：
G01J 5/48 F ,  G01J 5/48 D ,  G01J 5/48 E ,  H01L 37/02 ,  H04N 1/028 Z ,  H04N 5/33 ,  G01V 9/04 S ,  H01L 27/14 K
Fターム (37件)：
2G066AC13 ,  2G066BA04 ,  2G066BA08 ,  2G066BA09 ,  2G066BB11 ,  2G066CA08 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA07 ,  4M118CA14 ,  4M118CA16 ,  4M118CA22 ,  4M118CB12 ,  4M118CB14 ,  4M118CB20 ,  4M118DD10 ,  4M118GA10 ,  4M118GD03 ,  4M118GD07 ,  4M118GD09 ,  5C024AX06 ,  5C024BX04 ,  5C024CX00 ,  5C024CY47 ,  5C024EX15 ,  5C024GX08 ,  5C024GX19 ,  5C024HX17 ,  5C024HX44 ,  5C051AA01 ,  5C051BA02 ,  5C051DA06 ,  5C051DB01 ,  5C051DB34 ,  5C051DC02 ,  5C051DC07 ,  5C051DE04
引用特許：
審査官引用 (3件)

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